更小．功能更强的卫星。另一个是协同工作的， 卫星编队 』 １ 飞行。这种小卫 星群 的性能不亚于单颗大型卫星 并可以 实现许多新的应 用 ．包括先进的天基雷达系统 长基线信 号情报 系统和能与小型地面终端协同工作的通信 系统等 ：
五 文苔 先 斫 了微 小 卫 星 技 术 的 发 展 班 状 其 中 主 要 介 颦 了关 于 Ｎｓ ｌ 一些 基 本 信息 ．并重 点 探 了 ＭＥ ｓ硅 ・的 Ｍ
民用特种通信及科普教育等方面 ．目前一直运行正常 此 外 卫星 啥尔滨工业大学的光学成像小 ＿ Ｊ 星系统 也相姑 发射成功 探索一号 创 一号 小 中科院上海小卫星工程部的创新项 目 ——
它拥有 ３个陀螺 ．可以精确测量卫星的运动轨迹 ．短期精 度比较高 主要用于三轴稳定姿态控制ＭＩ ＭＵ对卫星 的 机动能力有重大意义 结合液氢徽推进技术 ．使、 卫星具 有很强的精确变轨能力
速 世界ｌ 已有 ２ 多个国家和地区Ｆ展了微小卫星 的研究 ＿ ［ ］ 工作 微小卫星如此势头勇猛的发展 可 以说是匡际 天
拄 术 和 空 间 技 术 的 一 场 划 时 代 的 罩 命 ． 国 在 微 小 卫 星 及 ，我
其应用敖术方面的研究起步较晚 ．现已将其列为高技武领 域未来重点发展的项 目之一 ， 到现在为止 果 我国在微小卫星领域 已璺摩得 了一些成
目前微 小卫星发展方 向主要有两个 ：一个是单颗轻 把微机械 、微结均 ．灵巧传感器ｆｍａｔ ｅ ｓｒ和智能传 感 Ｓ ｒ Ｓ ｎｏ ） 器归＾ ＭＥ ＭＳ范畴 ．制作 ＭＥ ， ＭＳ的技 术 称作 ＭＥ ＭＳ技 术 它包括 微电子技 术和搬 工技术两大部分。微 电子技术 ｊ 妁主要内容有 氧化 层生长 光蓟掩膜制作 光刻选择掺杂
ＮＳ ｌ － 还试验了新型ＭＬ ＭＵ装置 ｃ 微型惯 性测量组合 Ｊ ｌ
己经于 ２ ） １ ２ （ 年 月 ８日成 功 发 射 它 的 体 积 为 ４ ｍｌ ￣ ］ ｌ× ４０ ｍ ×７Ｏ ａ 重 量 为 ７ ｋ 主 要 用 于 环黄 和 灾 害检 测 、 ０ｒ ａ Ｏ ｍｌ ｌ ￣ ０ｇ
ＭＩ￣ 《 ｃ ｌ ｔ Ｄ Ｓ Ｍｉ ｏＥｅ ｒ ｒ ｃ ｏ￣ ｂ ｎｃ Ｓ ｓ ｍｓ ． ｉ Ｊ ｙｔ ｝这个新技 ａ ｖ ｅ
术术语． 近年来不 但在传感器技术 、测控技术和徽 电子技术 领域频繁馥委 也在航秃技术领域 中不断出现ＭＥ ＭＳ有的 译威微 机电系统有的译戒微 电子机械 系统 微 电子 。
Ｎ — 的 遥 感成像功能 是国 内首攻应月 Ｃ ＭＳ工艺 ＳＩ Ｏ 制造的图慷藏像器件 重量仅 ５ ｇ 具有集成度太和抗 干扰 ｏ 韵优意 ．其耗 电量低 图像处理 电路集威化 高的优点非常 适 合微小 卫星采 用 而且制 造成本 远低 于 ＣＣＤ，但是
进一步 的提高。虽然 ＣＯ ＭＳ技术 的分 辨率还受到技 术限 制 但如果将小卫星集台威 网． 利用离散台成孑 径技术 ｃ Ｌ 等 于将单一平台使用的合 成孔径技 术进行空间分 解，同样可 以实现 扩大孔径】 ．就可以提高分辨率。
工技术的主要 冈窖有 硅表面微加工和硅体微加工（ 向异性 各 牺牲 层） 技术 晶 键舍技术 制作 高深宽 ｝结构扮 ： ＬＧ Ｉ Ａ技术等 用微 电子技 最可制造集成 电路和 多传感 器：锻加工技术很适合 制作某些压力传惑 加速度传感 器、擞泵 微 微淘槽 微反应室、微执行器 微机械 等． 就能 充分 发挥微 电子技禾 能优势 ． 这 利用 ＭＥ ＭＳ技术大 批量、低戚本地带 造高可靠性微小卫星
设 由清华大学精 密仪器 系为主竞玻 ．工程犯最 ’每制 开 造由航 天清华 星技术有 限公 司完成 。这是该公司ｌ航 继
天清垡 ｌ 号 Ｋ Ｐ Ｋ ．Ｐ ２ ｃ 。 Ｔ１Ｓ Ｔ １ Ｓ 即 开拓 ”系列 ）之 后研制 的第 四颗卫星 具有自主知识产权它的发射 成功 ． 标志着 中国现代微小卫星研制已步＾国际先进水 平ＮＳ １ 一 能够完成数据存储转发通信、微型遥感成像 三轴稳定姿 态控制和轨道机动试验等多项辑学实验任务 同酬还将进 行微型传感器与执行器件 高性能电子元器件 措载飞行
如果把卫星看作是 一个 系统 的话 ．那么通 常情 况 于一般筒堕 的卫星来说
木 与 Ｍ Ｅ ｓ 卫星 豹疆 念 理 论 与 发 展 情况 瞩确 推 出应 甩 Ｍ
Ｍ Ｅ ｓ拉 术 是 媾 小卫 星 袭 走发 展 豹 必 然趋 势 。 Ｍ
